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龍巖酸堿蝕刻液回用及提銅設備廠家電話

更新時間:2025-10-06      點擊次數:35

半導體裝置、TFT-LED、OLED等微電路是通過在基板上形成的鋁、鋁合金、銅及銅合金等導電性金屬膜或二氧化硅膜、氮化硅薄膜等絕緣膜上,均勻地涂抹光刻膠,然后通過刻有圖案的薄膜,進行光照后成像,使所需的圖案光刻膠成像,采用干式蝕刻或濕式蝕刻,在光刻膠下部的金屬膜或絕緣膜上顯示圖案后,剝離去除不需要的光刻膠等一系列的光刻工程而完成的。大型顯示器的柵極及數據金屬配線所使用的銅合金阻抗低且沒有環境問題,銅存在與玻璃基板及絕緣膜的粘附性較低,易擴散為氧化硅膜等問題,所以通常使用鈦、鉬等作為下部薄膜金屬。但是,現有蝕刻液在蝕刻過程中,蝕刻的均一性很難把控,導致蝕刻錐角、蝕刻偏差及蝕刻直線度等特性失去,影響產品質量。蝕刻速度越快,板子在蝕刻液中停留的時間越短。龍巖酸堿蝕刻液回用及提銅設備廠家電話

針對現有氯化物體系廢蝕刻液中銅難以電解回收利用的現狀,本文采用LIX984作為萃取劑,探索其對廢蝕刻液中的銅萃取及反萃轉型研究,系統考察了萃取劑濃度,料液酸度,萃取時間等對銅萃取的影響,硫酸濃度,反萃時間等對銅反萃的影響,繪制萃取及反萃等溫線并模擬多級逆流過程。研究表明:采用LIX984萃取銅時,為確保銅萃取回收率,應將廢蝕刻液稀釋至Cu濃度接近0。5 mol/L或以下。文中含Cu 131。24 g/L,Cl 231。6 g/L,pH=2。45的廢蝕刻液稀釋4倍后,可直接采用20 %(體積分數)的LIX984 按相比O/A=4:1,萃取時間10 min,萃取溫度25 ℃,經過5級逆流萃取,Cu萃取率為97。1 %,Cl萃取率只0。05 %。負載銅有機相采用200 g/L的硫酸溶液,按照相比O/A=6:1,反萃時間5 min,反萃溫度25 ℃,經過7級逆流反萃,銅反萃率為98。62 %,并得到含Cu 47。16 g/L,Cl 0。18 g/L的硫酸銅反萃液,可直接用于電解回收,得到的金屬銅達到國家標準GB/T467-1997 Cu-CATH2要求。惠州酸堿蝕刻液回用及提銅報價凡能氧化銅而生成可溶性銅鹽的試劑,都可以用來蝕刻敷銅箔板。

通過蝕刻再生的化學反應可以看出:[Cu(NH3)2]1+的再生需要有過量的NH3和NH4Cl存在。如果溶液中缺乏NH4Cl,而使大量的[Cu(NH3)2]1+得不到再生,蝕刻速率就會降低,以至失去蝕刻能力。所以,氯化銨的含量對蝕刻速率影響很大。隨著蝕刻的進行,要不斷補加氯化銨。但是,溶液中Cl-含量過高會引起抗蝕層被浸蝕。一般蝕刻液中NH4Cl含量在150g/l左右。蝕刻液溫度低于40℃,蝕刻速率很慢,而蝕刻速率過慢會增大側蝕量,影響蝕刻質量。溫度高于60℃,蝕刻速率明顯增大。但NH3的揮發量也很大程度增加,導致污染環境并使蝕刻液中化學組份比例失調。故一般應控制在45℃~55℃為宜。

蝕刻液再生循環系統:在電子線路版(PCB)蝕刻過程中,蝕刻液中的銅含量漸漸增加。蝕刻液要達到較佳的蝕刻效果,每公升蝕刻液需含120至180克銅及相應分量的蝕刻鹽(NH4CI)及氨水(NH3)。要持續蝕刻液中上述各種成份的濃度較佳水平,蝕刻用過后的(以下稱[用后蝕刻液])溶液需不斷由添加的藥劑所取締。本系統將大量原本需要排放的用后蝕刻液再生還原成為可再次使用的再生蝕刻液。只需極少量的補充劑及氨水,補償因運作時被帶走而失去的部份。從而取代蝕刻子液,既可達到蝕刻工藝的要求,又可節省生產成本。影響蝕刻速率的主要因素是溶液中Cl-、Cu+、Cu2+的含量及蝕刻液的溫度等。

蝕刻液一般分為酸性蝕刻液和堿性蝕刻液兩種。酸性蝕刻液主要成分氯化銅、鹽酸、氯化鈉和氯化銨。它的機理是:酸性蝕刻液具有蝕刻速率易控制,蝕刻液在穩定狀態下能達到高的蝕刻質量的特性;同時,它的溶銅量大;酸性蝕刻液也較容易再生與回收,從而減少污染。有研究表明,酸性氯化銅蝕刻液的蝕刻系數通常為3,以硝酸為基礎的蝕刻系統可以做到幾乎沒有側蝕,達到蝕刻的線條側壁接近垂直,其蝕刻效果非常好。結合以上特性,酸性蝕刻液一般用于多層印制板的內層電路圖形的制作或微波印制板陰板法直接蝕刻圖形的制作。酸性蝕刻液具有蝕刻速率易控制。贛州PCB蝕刻液回用及提銅哪家便宜

蝕刻液回收氯化銨的處理系統,包括中和處理段、壓濾段、離子交換處理段、蒸發段和后處理段。龍巖酸堿蝕刻液回用及提銅設備廠家電話

銅蝕刻液適用于印制版銅的蝕刻,蝕刻速度快。蝕刻速度達4~5um/min。廢液回收簡單,普遍用于印制板,線路板。本劑也可用于銅工藝品等的蝕刻。蝕刻后的板面平整而光亮。銅蝕刻液的反應速度快、使用溫度低、溶液使用壽命長,后處理容易,對環境污染小。用于銅質單面板,雙面板、首飾蝕刻,可以蝕刻出任意精美的形態,有效提高蝕刻速度,節約人工水電。常常應用于印刷線路板銅的蝕刻處理。蝕刻速度快,效率高。使用方便。蝕刻速度可達10微米/分鐘。可循環使用,無廢液排放。龍巖酸堿蝕刻液回用及提銅設備廠家電話

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